潔凈廠(chǎng)房?jì)忍胤N氣體和化學(xué)品泄漏探測系統
潔凈廠(chǎng)房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會(huì )帶來(lái)很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內部、溶劑間、溶劑輸送柜內部、SUBFAB、閥門(mén)箱和生產(chǎn)區均應按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類(lèi)型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學(xué)探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線(xiàn)/紅外線(xiàn)）探測器等。
潔凈廠(chǎng)房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會(huì )帶來(lái)很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內部、溶劑間、溶劑輸送柜內部、SUBFAB、閥門(mén)箱和生產(chǎn)區均應按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類(lèi)型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學(xué)探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線(xiàn)/紅外線(xiàn)）探測器等。