潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。

世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

●萬(wàn)級凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級過(guò)濾。

●空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式，應符合：初效空氣過(guò)濾器不應選用浸油式過(guò)濾器；中效空氣過(guò)濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段；高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端，高效空氣過(guò)濾的安裝方式應簡(jiǎn)便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞高效、高效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設置在同一凈化車(chē)間內。

●確定集中或分散式凈化空氣調節系統時(shí)，應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車(chē)間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續、無(wú)塵室或凈化車(chē)間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。

●凈化空氣調節系統如需電加熱時(shí)，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側，并應有防火安全措施。

●送風(fēng)機可按凈化空氣調節系統的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇，中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

●凈化工程中凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風(fēng)機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車(chē)間內的防灌倒措施。

●凈化空氣調節系統設計應合理利用回風(fēng)，凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿(mǎn)足衛生要求，或對其他工序有危害時(shí)，則不應用回風(fēng)。