無(wú)塵車(chē)間設計時(shí)的五大特性分別是以下5點(diǎn):
1、適應性:一些廠(chǎng)商認為適應性可節省一筆金錢(qián),而適應性意指系統可任意移動(dòng)或改變而不會(huì )招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將最初的設計定型。
2、清洗:在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無(wú)塵車(chē)間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
3、成本:微電子C/R建設費可能花費到$10億。能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達到這市場(chǎng)。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢(qián)”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
4、維護性:對凈化工程C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng),其可過(guò)濾掉房間的微粒子,且其常會(huì )因各個(gè)不同的需要,便其分開(kāi)來(lái),供應各個(gè)不同區域的小房間,曾有人說(shuō):若建造之預算因某種原因被限制,除了少數的小錢(qián)外,其天花板將趨于更貴的地步,其實(shí)天花板是一個(gè)頗復雜的系統其必須嚴格地過(guò)濾粒子,故其設計必須精確。
5、耐久性:無(wú)塵車(chē)間要有符合環(huán)境、無(wú)塵車(chē)間內部的清洗溶液及振動(dòng)、設備、空氣過(guò)濾系統的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵室等級來(lái)建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。