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芯片無(wú)塵車(chē)間對潔凈度有什么要求

來(lái)源: 時(shí)間:2022-09-20 14:43:46 瀏覽次數:

電子制造業(yè)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控,另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)纫桩a(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間都是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。今天就隨康德萊凈化工程公司一起來(lái)了解下吧! 電子制造業(yè)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控,另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)纫桩a(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間都是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。


1、萬(wàn)級芯片無(wú)塵車(chē)間參數要求換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次;   2、壓差:主車(chē)間對相鄰房間≥5Pa;   3、平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;   4、溫度:冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;   5、濕度:45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。   6、噪聲:≤65dB(A);   7、照度:300LX;   8、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%。   萬(wàn)級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣,將室內的污染逐漸排出,來(lái)實(shí)現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),伴有回流或渦流,不同等級的凈化車(chē)間,主要是依靠單位時(shí)間內所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現。

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