潔凈室氣密性檢測方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿(mǎn)足檢驗要求，但條件允許
時(shí)，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進(jìn)行檢測：
1 壓力衰減法
使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關(guān)閉加壓或抽負壓系 統，觀(guān)察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的
一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內達到某一正壓，同時(shí)向室內補氣，使室壓達到要求的 穩定值而不下降時(shí)的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，
使室壓維持要求的穩定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測試系統如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記 錄壓力衰減測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門(mén)，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，
并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。
3 開(kāi)啟送風(fēng)，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力 計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 壓
力穩定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門(mén)。
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圖 G.2.1 壓力衰減法系統
1-潔凈室；2—送風(fēng)機；3—調節閥；4—密閉閥；5--微壓計；6一排風(fēng)機
4 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門(mén)，如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不 嚴，應在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開(kāi)啟排風(fēng)， 使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風(fēng)，
關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門(mén)。
5 從停止送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數據，每 1min 記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓
力的一半時(shí)止。
6 測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
7 如果需要進(jìn)行重復測試，20min 后進(jìn)行。
8 當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.2.3 檢測報告應包括以下內容，
1 檢測條件，包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；所測
潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化；檢測持續的時(shí)間。
3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/ 2時(shí)的時(shí)間內壓力衰減率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的
評價(jià)。