電子工廠(chǎng)生產(chǎn)工藝分類(lèi)眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平南顯示器生產(chǎn)(分為L(cháng)CD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管。電容、電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數字投影儀。電子數碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執行機構)等。
由于生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5um;對溫濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數為40%(精度±2~±5℃;正壓值要求的梯度級別,隨著(zhù)潔凈度的變化而從高到低變化,差值5~10Pa。
由于我國電子行業(yè)與國際先進(jìn)水平差距較大,隨著(zhù)經(jīng)濟發(fā)展不斷加快,先進(jìn)技術(shù)不斷進(jìn)入我國。因此,生產(chǎn)工藝技術(shù)的更新,可謂日新月異,潔凈工程設計必須要適應這么快的變化節奏。
電子行業(yè)潔凈室的冷負荷比其他行業(yè)的潔凈室大很多,單位冷負荷達400~500W/㎡很常見(jiàn)。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過(guò)程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類(lèi)繁多,且量也大,所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一,排放前要做處理,使排風(fēng)負荷環(huán)保要求。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類(lèi)多,對純度和潔凈度要求