萬(wàn)級無(wú)塵室對凈化方面標準有一定的要求，并且在設計規劃的時(shí)候也應該注意以下方面的細節：
1、選址原則:無(wú)塵車(chē)間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節省投資和經(jīng)營(yíng)費用的原則。廠(chǎng)址應設在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節能的區域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區域,如機場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風(fēng)向的上風(fēng)側面,且有一定的防護距離。無(wú)塵車(chē)間與交通主干道間距宜50米以上 。
2、動(dòng)線(xiàn)規劃要點(diǎn):要檢討分析人車(chē)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線(xiàn)，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線(xiàn)勿集中;無(wú)塵車(chē)間四周，宜設緩沖區;制造裝置的出入，不要對作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3、有些空氣凈化系統的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí)，則不能循環(huán)使用:固體物料的粉碎、稱(chēng)重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的原料藥精制、干燥工序;放射性藥品生產(chǎn)區;病原體操作區;工藝過(guò)程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序;固體口服制劑的顆料
4、節能原則:無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠(chǎng)用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠(chǎng)時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種"小處節約大處浪費"的所謂捷徑和削減成本，會(huì )造成工廠(chǎng)的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠(chǎng)的改建通常會(huì )陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟漩渦當中 。
一、萬(wàn)級無(wú)塵室節能方面采取的措施
1、廠(chǎng)址選擇、建筑布局與工藝設置的合理性，可以從根本上降低初投資及運行費用。
2、減少凈化空間是大家共同關(guān)注的實(shí)現節能的快捷有效途徑的方向。凈化系統的風(fēng)量取決于房間體積和換氣次數，而換氣次數大多由潔凈級別所確定，因此要降低 潔凈系統的風(fēng)量可以減小凈化空間入手。因為低風(fēng)量化即合理地選定換氣次數可以減少送風(fēng)動(dòng)力消耗。同時(shí)在管路設計中盡可能減少系統的阻力，也可達到降低送風(fēng) 動(dòng)力消耗的效果。
3、正確確定生產(chǎn)設備的熱負荷對選定空調制冷設備有直接關(guān)系。
4、空調和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟合理性。
5、工藝過(guò)程中和空調系統的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應充分利用這部分熱量，使之達到物盡其用的目的。
6、設計方案應具有較好的適應性（靈活性），它是實(shí)驗性車(chē)間必須考慮的問(wèn)題（如單向流/非單向流的轉換、分區轉換等）。
7、新風(fēng)集中處理有利于應用地下水預冷、除塵和加濕。
8、室內換氣次數和末級過(guò)濾器效率之間的組合（達到相同級別）需進(jìn)行經(jīng)濟比較。
二、 萬(wàn)級無(wú)塵室運行過(guò)程中的注意事項
1、生產(chǎn)工作停止時(shí)，排氣柜應減小排風(fēng)量，新風(fēng)量亦應隨之調小。
2、根據不同的工藝過(guò)程應能有效控制室內換氣次數。
3、與一般空調系統相同，運行中在某些季節應盡可能利用自然的冷卻作用（室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水）。
4、過(guò)渡季是否增加新風(fēng)比，以及值班運行方式是否提前開(kāi)動(dòng)運行均應通過(guò)經(jīng)濟比較確定。
5、提高空調凈化系統的自控水平，能夠實(shí)現既保證運行質(zhì)量，又能達到節能的目的。
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