無(wú)塵車(chē)間不同級別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、高效過(guò)濾器三級過(guò)濾器；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。
分類(lèi)：
1.亂流式
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。此型式適用于無(wú)塵室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，無(wú)塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制
無(wú)塵室
程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
2.層流式
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3.復合式
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
構成：
⑴天花板系統：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。
⑵空調系統： 包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。
⑶隔墻板： 包括窗戶(hù)、門(mén)。
⑷地板： 包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具： 包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無(wú)塵室之建筑主體構造：一般是用鋼筋或骨水泥
五大特性：
1耐久性；2成本；3適應性；4維護性；5清洗。
⑴ 耐久性：
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內部的清洗溶液及振動(dòng)、設備、空氣過(guò)濾系統的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵室等級來(lái)建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
⑵ 清洗：
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止過(guò)濾性病毒或細菌的污染之特性。在市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
⑶ 成本：
微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達到這市場(chǎng)。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢(qián)" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
⑷ 適應性：
一些廠(chǎng)商認為適應性可節省一筆金錢(qián)，而適應性意指系統可任意移動(dòng)或改變而不會(huì )招致極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將最初的設計定型。
⑸ 維護性：
對無(wú)塵車(chē)間 C/R 而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng)，其可過(guò)濾掉房間的微粒子，且其常會(huì )因各個(gè)不同的需要，便其分開(kāi)來(lái)，供應各個(gè)不同區域的小房間，曾有人說(shuō) ：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢(qián)外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復雜的系統其必須嚴格地過(guò)濾粒子，故其設計必須精確。