在講到清潔維護的重要性之前，我們先在認識一下潔凈室中的四大污染來(lái)源。

■ 潔凈室中的工具設備在運轉的過(guò)程中會(huì )向潔凈室空間擴散粒子

■ 潔凈室中的產(chǎn)品也會(huì )向潔凈室空間擴散粒子

■ 潔凈室中的設施，例如地面、墻面、天花板等，一刻不停地擴散著(zhù)粒子

■ 潔凈室中的人員是污染的主要來(lái)源，潔凈室中的污染有80%都來(lái)自于人員散發(fā)的粒子

既然潔凈室有這么多污染來(lái)源，為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢？那是因為我們肉眼只能看到粒徑大于50um的塵粒，需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。（如下圖所示）而對于許多精密制造業(yè)來(lái)說(shuō)，例如芯片制造業(yè)，任何大于0.1um的塵粒都會(huì )對產(chǎn)品造成危害。此時(shí)，就需要通過(guò)潔凈室和污染控制技術(shù)來(lái)達到合格的生產(chǎn)環(huán)境。

我們知道，潔凈室可以通過(guò)送風(fēng)系統達到自?xún)舻哪康?，但是通過(guò)循環(huán)風(fēng)系統只能去除一部分污染，仍會(huì )有大量的污染物在重力作用和布朗運動(dòng)的作用下造成堆積。堆積在表面的污染物并不是靜止不動(dòng)的，污染物會(huì )通過(guò)表面直接或通過(guò)空氣和人員等媒介間接地與產(chǎn)品發(fā)生“接觸”，這種“接觸”就會(huì )對產(chǎn)品造成污染，導致產(chǎn)品不良。

此時(shí)，對潔凈室進(jìn)行定期的清潔維護就顯得非常有必要了。我們進(jìn)行清潔維護的目的首先在于去除污染，已達到潔凈室設計建造時(shí)預期的潔凈度，但最終還是為了保護我們的產(chǎn)品不受污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)率。因此，我們可以將潔凈室清潔維護定義為：“從潔凈室內或潔凈區內重要性各不相同（對潔凈度而言）的表面，釋放出所有不希望的污染物，并把它們收集起來(lái)清除掉?！?

我們可以把清潔工作分為兩大范疇，預防性清潔和主動(dòng)清潔。預防性清潔就是，防止產(chǎn)生污染物及防止外部環(huán)境的污染物傳入到潔凈室環(huán)境，或者使其達到最??；防止污染物在關(guān)鍵區域中擴散。為主動(dòng)清潔所采取的全部準備措施，也屬于預防性清潔。而主動(dòng)清潔則是將污染物從關(guān)鍵區域中釋放出來(lái)。這里，我們重點(diǎn)講一下主動(dòng)清潔的方法和原則。

根據所使用的工具不同，主動(dòng)清潔的方法可以分為干法和濕法。干法就是使用真空吸塵器，或者是干的工具或粘著(zhù)方法進(jìn)行清潔。使用干法只能去除部分塵粒，粒子越小，其附著(zhù)在表面的力就越大，并且粒子附著(zhù)在表面的時(shí)間越長(cháng)，就越難以將其清除。濕法清潔是對干法的有效補充。附著(zhù)在表面的較小粒子，很難用真空吸塵器吸走，因為真空吸塵器達不到清除粒子所需的風(fēng)速。此時(shí)，使用無(wú)塵拖把或無(wú)塵布配合清潔溶劑進(jìn)行清潔就能有效地去除污染。同時(shí)，為了避免交叉污染，清潔時(shí)還應遵循從上到下，從里到外的清潔原則，并采用直線(xiàn)方向部分重疊的擦拭方法。

總之，定期對潔凈室進(jìn)行清潔維護對于潔凈室性能的維持有著(zhù)重要的意義。作為潔凈室工作者，一定要重視這項看似簡(jiǎn)單的工作。