千級無(wú)塵車(chē)間主要是過(guò)濾大于或等于0.5UM塵埃粒子，其送風(fēng)量按換氣數一般在50次以上。無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈度級別分為百級>千級>萬(wàn)級>十萬(wàn)級>三十萬(wàn)級，也就是說(shuō)值越小，凈化級別就越高，潔凈度越高造價(jià)就越高。無(wú)塵車(chē)間的凈化潔凈度根據生產(chǎn)工藝要求，合適就好，一味地追求高級別只能造成資源上的浪費。

1、潔凈車(chē)間必須維持一定的相對正壓，不同等級的潔凈車(chē)間之間的壓強不小于5Pa;潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間的壓強以不小于10Pa，以防止低級潔凈車(chē)間空氣逆流到高級潔凈車(chē)間；

2、溫度宜保持18~26℃

  按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

  每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng) 級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。

  而無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照 明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等 性能之特性。