FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過(guò)濾器的組合，也可稱(chēng)為“自帶風(fēng)機的過(guò)濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊，下面部分為過(guò)濾器。根據潔凈度的要求，過(guò)濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過(guò)濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過(guò)濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風(fēng)速。FFU系統具有設計施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調節靈活，潔凈區易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統形式之一
該機組設計整體靈活，便于與專(zhuān)用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過(guò)濾器采用刀邊型框架時(shí)，這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據設計的規格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼，各具特色。采用這種機組，可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤(pán)驅動(dòng)器的廠(chǎng)家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
一般萬(wàn)級無(wú)塵室所用的高效過(guò)濾器，它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過(guò)濾效率達到99.99%，出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s，最大不能有超過(guò)20KG以上的外力作用于過(guò)濾器上，以免破壞過(guò)濾器組織架構。
因為FFU是自帶動(dòng)力的，它不受區域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠(chǎng)房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著(zhù)半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠(chǎng)房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會(huì )帶來(lái)二次投資。
第二：可再利用性。
從理論上講，一時(shí)不用的FFU設備，可以拆下來(lái)，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風(fēng)。
這是FFU的獨特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠(chǎng)房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會(huì )受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四：縮短建設周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。
該機組設計整體靈活，便于與專(zhuān)用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過(guò)濾器采用刀邊型框架時(shí)，這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據設計的規格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼，各具特色。采用這種機組，可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤(pán)驅動(dòng)器的廠(chǎng)家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
一般萬(wàn)級無(wú)塵室所用的高效過(guò)濾器，它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過(guò)濾效率達到99.99%，出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s，最大不能有超過(guò)20KG以上的外力作用于過(guò)濾器上，以免破壞過(guò)濾器組織架構。
FFU的特點(diǎn)：
第一：靈活性。因為FFU是自帶動(dòng)力的，它不受區域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠(chǎng)房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著(zhù)半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠(chǎng)房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會(huì )帶來(lái)二次投資。
第二：可再利用性。
從理論上講，一時(shí)不用的FFU設備，可以拆下來(lái)，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風(fēng)。
這是FFU的獨特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠(chǎng)房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會(huì )受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四：縮短建設周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。
雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點(diǎn)。
